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Option High-Res

SECM seite ausschnitt

Artikel-Nr. 03-00002

Um die Bildqualität des Sensolytics Base SECM zu erhöhen, bietet diese Option ein zusätzliches piezoelektrisches Positionierungssystem. Es bietet eine nominelle Auflösung von 1 nm (<10 nm Wiederholgenauigkeit) in einem Verfahrbereich von 100x100x100x100 μm.