Option High-Res

Artikel-Nr. 03-00002

Um die Bildqualität des Sensolytics Base SECM zu erhöhen, bietet diese Option ein zusätzliches piezoelektrisches Positionierungssystem. Es bietet eine nominelle Auflösung von 1 nm (<10 nm Wiederholgenauigkeit) in einem Verfahrbereich von 100x100x100x100 μm.